[17a-Z06-1~8] 6.5 表面物理・真空

[17a-Z06-7] r面サファイア基板上にミストCVD法で作製したVO2薄膜の表面構造解析に関する研究

〇前田 青輝¹、中山 瑛太¹、田畑 博史¹、久保 理¹、片山 光浩¹、木村 信²、股村 雄也²、池之上 卓己² (1.阪大院工、2.京大院エネ)

キーワード：表面