[17a-Z08-1~11] 3.8 光計測技術・機器

[17a-Z08-4] イメージングエリプソメトリーにおける分解能に関する考察

〇金 蓮花¹、近藤 英一¹、飯塚 祐基¹、大竹 基之¹、ジェローズ ベルナール² (1.山梨大工、2.名古屋大理)

キーワード：エリプソメトリー、分解能