[17a-Z09-1~7] 3.9 テラヘルツ全般

△ [17a-Z09-2] スプリットリング共振器を集積したテラヘルツ共鳴トンネルダイオード発振器の作製および評価

〇兪 熊斌¹、鈴木 雄成¹、マイ ヴァンタ¹、鈴木 左文¹、浅田 雅洋¹ (1.東工大)

キーワード：テラヘルツ、共鳴トンネルダイオード、スプリットリング共振器

従来のRTD発振器(Resonant Tunneling Diode: RTD) では，発振回路と直流バイアス回路を分離するためのMIM(metal-insulator-metal)キャパシタが必要であり，作製プロセスが複雑だった．最近，我々はMIMキャパシタを取り除いたRTD発振器を提案し，構造および製作プロセスの簡素化に成功したが ，共振器の損失が大きく1 THzを超える発振は困難だった．そこで，低損失なスプリットリング共振器（SRR）を用いた新たなRTD発振器の提案および理論検討を行い，1 THzを超える発振が可能なことを明らかにした ．今回，設計に基づいてデバイスを作製し1.22 THzの発振を得たので報告する．