[17a-Z10-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[17a-Z10-2] シリコン両側マイクロリング共振器装荷型マッハ・ツェンダー光変調器 動作実証と評価

〇立川 準¹、大和 良隆¹、國分 泰雄²、荒川 太郎¹ (1.横浜国大院工、2.中部大)

キーワード：光変調器、シリコン