[17a-Z10-1~10] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

△ [17a-Z10-3] Si/LNOI ハイブリッド型光変調器の作製と強度変調特性

〇(D)神谷 拓郎^1,2、佐藤 洸^1,2、横山 士吉^1,2 (1.九大総理工、2.九大先導研)

キーワード：光変調器、ニオブ酸リチウム、光導波路