[17a-Z15-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[17a-Z15-2] DCプラズマCVDで合成されるa-C:H膜における表⾯増強ラマン分光と通常ラマン分光結果の比較

〇(M1)岩井 綾星¹、上坂 裕之²、野老山 貴行³、中島 悠也^3,4、古木 辰也²、梅原 徳次³ (1.岐大院自然、2.岐大工、3.名大院工、4.富士電機)

キーワード：DLC、DCプラズマCVD、表面増強ラマン分光法

DLC膜の最表面構造は膜全体の平均的構造とは異なるとされる．そこで表面増強ラマン分光法と通常のラマン分光法により，異なる印可電圧下で成膜されたa-C:H膜の最表面構造と内部の平均的構造とを比較した．その結果，水素含有率とI(D)/I(G)は膜最表面の方がより大きかった．膜全体では印加電圧の増加に伴い水素含有率が減少し，I(D)/I(G)は増加する一方で，膜最表面ではそのような相関は見られなかった．