[17a-Z22-1~10] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17a-Z22-8] 多素子化超伝導転移端センサの開発

〇(P)今野 俊生¹、鷹巣 幸子¹、服部 香里^1,2、福田 大治^1,2 (1.産総研、2.東大オペランドOIL)

キーワード：超伝導、超伝導転移端センサ、マイクロ熱量計

我々はバイオなどのイメージング応用に向けて超伝導転移端センサ（TES）を用いた単一光子顕微鏡の開発に取り組んでいる。現状の課題はTESの有効面積が小さいために撮像に時間がかかることであり、TESの多素子化を行うことで測定効率の向上と撮像時間の短縮を目標としている。今回はTESアレイデバイスを作成し、各素子間の熱干渉に起因するクロストークエネルギー量の検討を行った。