[17a-Z22-1~10] 11.4 Analog applications and their related technologies

[17a-Z22-8] Development of Superconducting Transition Edge Sensors Array

〇(P)Toshio Konno¹, Sachiko Takasu¹, Kaori Hattori^1,2, Daiji Fukuda^1,2 (1.AIST, 2.OPERANDO-OIL)

Keywords:Superconductor, Superconducting transition edge sensor, Microcalorimeter

我々はバイオなどのイメージング応用に向けて超伝導転移端センサ（TES）を用いた単一光子顕微鏡の開発に取り組んでいる。現状の課題はTESの有効面積が小さいために撮像に時間がかかることであり、TESの多素子化を行うことで測定効率の向上と撮像時間の短縮を目標としている。今回はTESアレイデバイスを作成し、各素子間の熱干渉に起因するクロストークエネルギー量の検討を行った。