[17a-Z28-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[17a-Z28-10] 4H-SiC SJ-UMOSFETにおけるイオン注入プロセスがキャリアライフタイムへ与える影響

〇福井 琢也¹、俵 武志²、加藤 正史¹ (1.名工大、2.産総研)

キーワード：キャリアライフタイム、シリコンカーバイド、SJ構造