[17a-Z28-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[17a-Z28-5] Si面及びC面上SiC CVDにおけるステップ端近傍Al表面濃度の比較

〇望月 和浩¹、三島 友義¹ (1.法政大)

キーワード：炭化珪素、アルミニウム、ステップ