[17a-Z28-1~10] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[17a-Z28-6] Si過剰雰囲気下4H-SiC(0001)ホモエピタキシャル成長におけるC及びN含有分子の表面拡散距離の解析

〇望月 和浩¹、三島 友義¹ (1.法政大)

キーワード：炭化珪素、窒素、表面拡散