[17a-Z31-1~10] 17.2 Graphene

[17a-Z31-4] Real-time monitoring of graphene CVD growth using UV-visible light

〇Yui Ogawa¹, Takehiko Tawara^1,2, Yoshitaka Taniyasu¹ (1.NTT BRL, 2.NTT NPC)

Keywords:Graphene, CVD growth, Real-time monitoring

グラフェンの CVD成長装置に、紫外/可視光を用いた反射型顕微光学系を構築することにより、これまで困難であったグラフェンの CVD成長中のリアルタイム観察に成功したので報告する。