[17a-Z31-1~10] 17.2 グラフェン

[17a-Z31-4] 紫外可視光を用いたグラフェンCVD成長のリアルタイム観察

〇小川 友以¹、俵 毅彦^1,2、谷保 芳孝¹ (1.NTT物性科学基礎研、2.NTT NPC)

キーワード：グラフェン、CVD成長、リアルタイム観察

グラフェンの CVD成長装置に、紫外/可視光を用いた反射型顕微光学系を構築することにより、これまで困難であったグラフェンの CVD成長中のリアルタイム観察に成功したので報告する。