[17a-Z32-1~7] 15.1 バルク結晶成長

[17a-Z32-7] ScAlMgO4単結晶のウエハ加工

白石 裕児¹、熊谷 毅¹、南都 十輝¹、星生 伸一²、〇福田 承生¹ (1.福田結晶研、2.オータスジャパン)

キーワード：ScAlMgO₄、結晶成長

ScAlMgO4単結晶はGaNと格子定数ミスマッチが小さいだけでなく、無転位結晶が出来ること、GaN成長薄膜と自然剥離が出来、更にScAlMgO4のへき開利用により種基板の再利用も報告された。昨年2”φの高品質自立基板が発表され、パワーデバイス用としての関心も高まっている。ここではScAlMgO4のへき開加工及びエピ基盤用加工について発表する。