[17a-Z33-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[17a-Z33-5] Ⅳ族混晶薄膜の固相成長における前駆体変調効果

〇溝口 拓士¹、今城 利文¹、末益 崇¹、都甲 薫¹ (1.筑波大院)

キーワード：SiGeSn、固相成長、薄膜