[17p-P02-1~8] 3.13 Semiconductor optical devices

[17p-P02-6] Fabrication of Monolithic Blue m-LED pixels and Study for Full-color System

〇(M1C)Hiroyoshi Chikui¹, Syoma Takeda¹, Takeyoshi Onuma¹, Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹ (1.Kogakuin Univ.)

Keywords:micro-LED, display, monolithic

μ-LEDディスプレイはLEDの特徴を活かした高輝度・低消費電力・高コントラスト・長寿命の次世代ディスプレイ技術として期待されている。試作品では回路基板上にフリップチップLEDを集積することが多いが、膨大な数のLEDを高精度に配列する必要があり、生産コストが高くなる。本研究では、LEDウェハをエッチングすることで微細化と実装を同時に実現するモノリシック集積方法を用いて青色のμ-LEDピクセルを製作した。