[17p-P07-1~6] 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」

[17p-P07-3] ナノインデンテーション法を用いたシリコンの熱輸送特性の測定

〇則正 雄賀¹、長谷 匡高¹、速水 舞¹、室谷 裕志¹、宮崎 康次²、高尻 雅之¹ (1.東海大工、2.九州工業大)

キーワード：フォノン、ナノインデンテーション、熱輸送特性