[17p-P08-1~8] 23.1 Joint Session N "Informatics"

[17p-P08-3] RHEED pattern analysis for Si surface superstructure using machine learning

〇(B)Asako Yoshinari¹, Naoka Nagamura^1,2,3, Yuma Iwasaki^3,4,5, Masato Kotsugi¹ (1.Tokyo Univ. of Science, 2.NIMS, 3.PREST, 4.NEC, 5.AIST)

Keywords:machine learning, RHEED, surface superstructure

Si表面超構造による特異な物性の応用には，構造の作り分けと成膜プロセスの最適化が重要であるが，反射高速電子線回折(RHEED)による定量的な評価は難しい。そこで，Si表面にInを蒸着する過程で得られたRHEED画像に，教師なし機械学習を用いて解析を行った。階層的クラスタリングによって前提知識なく表面構造変化を把握し，非負値行列因子分解から各構造の最適蒸着時間の見積もりを自動的に行うことが出来た。