[17p-P08-1~8] 23.1 Joint Session N "Informatics"

[17p-P08-7] In-situ structural analysis during PLD growth of Iron oxide films

〇Yuto Tsukahara¹, Kaito Ito¹, Mikk Lippmaa², Ryota Takahashi¹ (1.Nihon Univ., 2.Tokyo Univ.)

Keywords:oxide thin films, RHEED, XRD

パルスレーザー堆積法(PLD)において結晶性が高い薄膜を合成するには、多岐に渡る合成パラメータを最適化しながら、構造と物性の評価を行う必要がある。本研究では、薄膜の表面構造を成膜中に評価することができる反射高速電子線回折(RHEED)測定から薄膜の結晶相を瞬時に予測するシステム開発を試みた。
24種類の実験条件で堆積した鉄酸化物薄膜のXRDパターンをクラスター解析した結果、結晶相は大きく6種類に分類することができた。