[17p-Z02-1~7] 相変化メモリ材料の進展と将来展望

[17p-Z02-2] 原子変位によるMnTe薄膜のβ→α多形変化

〇森 竣祐¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹ (1.東北大工)

キーワード：MnTe、多形変化、変位型相変態

MnTe多形体薄膜は、MnおよびTe原子の僅かなズレによる多形変化で物理特性に大きな変化を生じ、アモルファス/結晶間相変化を利用した相変化材料と比較して、高速かつ省エネルギーなメモリ動作が可能であると期待されている。この様な変位型相変態の発現には、周囲の基板や電極からの拘束が影響していると考えられる。本研究では、W電極からの拘束に伴い、MnTe薄膜のβ→α多形変化メカニズムにどの様な違いがあるかを調査した。