[17p-Z05-1~7] レーザー誘起ナノ周期構造の本質と展望に迫る

[17p-Z05-4] フェムト秒レーザー誘起周期構造形成における結晶学的アプローチ

〇宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：フェムト秒レーザープロセッシング、ナノ周期構造

レーザー誘起周期構造（LIPSS）をデバイス等へ機能的に応用するため，LIPSSの形状・結晶状態の把握と形成制御が重要だと考える．本研究では，LIPSSの結晶状態の被加工材料依存，レーザーパルス幅依存，またLIPSSの形状や周期の積極的制御について発表する．