[17p-Z11-1~6] イオンビーム分析の最前線と展望

[17p-Z11-2] イオンビームを用いたリチウムイオン電池用電極材料、固体電解質の評価

〇齋藤 正裕¹ (1.東レリサーチセンター)

キーワード：リチウムイオン電池、全固体電池、RBS

イオンビームを用いた評価方法はそのユニークな特徴を活かし、リチウムイオン電池の材料評価に極めて有効である。例えばイオンエッチング不要で深さ分析が可能であり、X線光電子分光法（XPS）等に比べ、試料変質の少ない、正確な深さ方向の情報が得られる。本講演では高速イオンを用いたラザフォード後方散乱分光法（RBS）、核反応解析法（NRA）を用いた電極材料の正確な深さ方向組成分析等について、原理と共に評価事例を紹介する。