[17p-Z11-1~6] イオンビーム分析の最前線と展望

[17p-Z11-3] 透過ERDA によるアルミニウム中の水素3 次元計測

〇冨田 成夫¹、山崎 明義²、石井 聰²、笹 公和^1,2、左高 正雄²、楢本 洋²、工藤 博² (1.筑波大数物、2.筑波大加速器)

キーワード：反跳粒子検出分析、イオンビーム物質分析、水素分析

我々は筑波大学6MV タンデム加速器の0 度ビームラインに設置されているOxford Microbeams
社製マイクロビーム装置を用い、⁴He ビームによる透過型ERDA 装置を開発し、試料中に含まれ
る水素原子の3 次元計測を実現した。測定例としてアルミニウム中にプラズマチャージされた水素の分布について報告する。