[17p-Z11-1~6] イオンビーム分析の最前線と展望

[17p-Z11-5] サブミクロンイオンビーム分析装置の開発と応用

〇松山 成男¹、三輪 美沙子¹、遠山 翔¹、菊池 洋平¹ (1.東北大院)

キーワード：マイクロビーム分析、サブミクロン