[17p-Z13-1~8] 1.6 Ultrasonics

[17p-Z13-5] Effect of parasitic inductance on k_t² extracting method for piezoelectric film/substrate structure

〇Eri Yamanaka^1,2, Keita Kondo^1,2, Ryota Tatsumi^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:piezoelectric, electromechanical coupling coefficient

基板付き圧電薄膜共振子(HBAR、ウェハ状態)の電気機械結合係数の抽出法として、共振スペクトル法がCheekeらにより報告されている。しかし、共振スペクトル法は大電極面積を用いる場合、RLC電気共振が基本次音響共振に重なるため、電気機械結合係数の抽出ができなくなる。そこで、本研究では実測値から寄生インダクタンスの値を差し引くことでRLC電気共振の影響を取り除き、電気機械結合係数の抽出を可能にした。