[17p-Z13-1~8] 1.6 超音波

[17p-Z13-5] 基板付き圧電薄膜構造におけるk_t²評価法に寄生インダクタンスが与える影響

〇山中 恵理^1,2、近藤 圭太^1,2、龍見 亮汰^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：圧電体、電気機械結合係数

基板付き圧電薄膜共振子(HBAR、ウェハ状態)の電気機械結合係数の抽出法として、共振スペクトル法がCheekeらにより報告されている。しかし、共振スペクトル法は大電極面積を用いる場合、RLC電気共振が基本次音響共振に重なるため、電気機械結合係数の抽出ができなくなる。そこで、本研究では実測値から寄生インダクタンスの値を差し引くことでRLC電気共振の影響を取り除き、電気機械結合係数の抽出を可能にした。