[17p-Z13-1~8] 1.6 Ultrasonics

[17p-Z13-6] Liquid viscoelasticity evaluation by the reflectometry of shear mode acoustic waves from c-axis tilted ScAlN thin films

〇(M1)Miho Yamashita^1,2, Sarina Kinoshita^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:piezoelectric material

液体試料の粘弾性を評価する手法の一つに、複素反射率測定が報告されている。本報では基板付き厚みすべりモードc軸傾斜薄膜ScAlN薄膜共振子のSH波の垂直入射による複素反射率測定の原理で液体試料の粘弾性評価を行った。