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△ [17p-Z14-8] ドレスト光子による誘導放出を利用した波長1.3~1.9μm帯の非冷却型Si受光素子
キーワード:ドレスト光子、シリコン、受光素子
ドレスト光子(DP)技術によりSi結晶を用いた非冷却型の赤外受光素子を作製した。この素子では入射光により生成されたDPが励起したコヒーレントフォノンを介して電子がバンド間励起されるため、バンドギャップエネルギーで決まるλc以上の長波の光にも感度を持つ。特に波長1.9 μmでの感度は室温で2×10-3 A/Wであり中赤外領域でも非常に高い感度を持つ可能性を示した。