[17p-Z14-1~9] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[17p-Z14-9] DPPアニールで作製したSi-赤外受光素子を用いた温度計

〇川添 忠¹、門脇 拓也¹、大津 元一²、佐野 雅彦¹、向井 孝志¹ (1.日亜化学、2.ドレスト光子研究起点)

キーワード：シリコン、ドレスト格子、発光ダイオード

DPPアニールされたSi-pn接合素子は本来の吸収端波長よりも長波側に受光感度が広がり、赤外領域受光素子が実現する。その帯域は1.3～2μm付近まで広がっている。これは環境の黒体輻射光に対しても応答することを意味し、温度計としての動作が期待できるので実際に温度計としての特性を測った。温度特性はやはり黒体輻射に対する応答を示す結果となり、極めて高感度であることが分かった。