[17p-Z16-1~8] 7.2 電子ビーム応用

[17p-Z16-4] 反転させた電子によるシンチレータチップカソードルミネッセンス光の評価

〇大木 智晴¹ (1.大和テクノ)

キーワード：シンチレータ、カソードルミネッセンス、走査電子顕微鏡

本発表ではチャージアップ現象を利用し、表面にAl膜を蒸着したシンチレータチップにおいて蛍光体のカソードルミネッセンス光を評価する新しい手法について報告する。
チャージアップした絶縁体表面で入射する電子線を反転させ、シンチレータチップへ誘導することでカソードルミネッセンス光を生じさせる。光をビューポートから外部に取り出すことで観察・評価することを可能とした。