[17p-Z16-1~8] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[17p-Z16-6] Removing Influence of Noise in Quantitative-Density Electron Tomography

〇(M2)Kaito Teruya¹, Jun Yamasaki^2,3 (1.Grad. School of Eng., Osaka Univ., 2.RC-UHVEM, Osaka Univ., 3.IMaSS, Nagoya Univ.)

Keywords:electron tomography

TEMトモグラフィーの透過率非線型問題の解決の糸口として、我々は3パラメータのみを含む関数で非線型減衰曲線を精度よく再現できることを発見した。このパラメータの決定方法として、再構成画像の微分総和値を評価値とするイタレーション手法を我々は提案しているが、電顕像ノイズの影響を大きく受けてしまうことが判明している。本研究ではこのノイズの影響を回避すべく、パラメータ推定手法の改良を試みた。