[17p-Z16-1~8] 7.2 電子ビーム応用

[17p-Z16-6] 電子線トモグラフィーにおける密度定量化手法へのノイズの影響除去

〇(M2)照屋 海登¹、山﨑 順^2,3 (1.阪大院工、2.阪大超高圧電顕センター、3.名大未来研)

キーワード：電子線トモグラフィー

TEMトモグラフィーの透過率非線型問題の解決の糸口として、我々は3パラメータのみを含む関数で非線型減衰曲線を精度よく再現できることを発見した。このパラメータの決定方法として、再構成画像の微分総和値を評価値とするイタレーション手法を我々は提案しているが、電顕像ノイズの影響を大きく受けてしまうことが判明している。本研究ではこのノイズの影響を回避すべく、パラメータ推定手法の改良を試みた。