[17p-Z22-1~9] 11.4 アナログ応用および関連技術

[17p-Z22-1] 2THz帯導波管型超伝導ホットエレクトロンボロメータミキサの作製(2)

〇川上 彰¹、入交 芳久¹、Wang Ming-Jye²、Lu Wei-Chun²、菱田 有二¹、寺井 弘高¹ (1.情通機構、2.台湾ASIAA)

キーワード：ホットエレクトロンボロメータミキサ、導波管、テラヘルツ

窒化シリコン(Si₃N₄)メンブレン構造による2 THz帯導波管型Ni-HEBM (WG-HEBM)を検討，前回Si₃N₄上へのNbN極薄膜成膜法とMgO無機レジストによるメンブレン構造形成法について報告した．今回は冷却に伴うメンブレンブリッジ形状の影響，素子特性および2 THz帯WG-HEBMのミキサ動作について述べる．