[17p-Z23-1~17] 12.2 評価・基礎物性

[17p-Z23-1] KFMによるドーピングルブレン単結晶のフェルミレベル測定

〇平本 昌宏^1,2、谷原 佑輔¹、湊 丈俊¹、伊澤 誠一郎^1,2 (1.分子研、2.総研大)

キーワード：KPFM、ドーピング、フェルミレベル

今回、MoO₃アクセプタードーピングを行ったルブレン単結晶のフェルミレベルをKFM測定することができたので報告する。フェルミレベルは、ドーピング濃度の増加に伴い、3.83 (0 ppm), 3.98 (100 ppm), 4.27 (1000 ppm), 4.46 eV (10000 ppm) とHOMOに徐々に近づいた。現在、1000 ppmドープサンプルについて、ドープ層膜厚を変えて、バンドマッピングを行っている。キャリア濃度（N_h）は9.3x10¹⁷ cm^-3以上、ドーピング効率は4.7 %以上と推定している。ドーピング層の膜厚と電位差は、空間的に異なった値で分布しているので、１つのKFM像のみで一度にバンドマッピングできる可能性がある。