[17p-Z27-1~14] 15.4 III-V族窒化物結晶

[17p-Z27-12] 高SiドープGaN薄膜の断面ラマン分光測定

〇馬 ベイ¹、湯 明川¹、森田 健¹、上野 耕平²、小林 篤²、藤岡 洋²、石谷 善博¹ (1.千葉大院工、2.東大生研)

キーワード：シリコン、Siドープ、ラマン