[17p-Z28-1~14] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[17p-Z28-13] GaAsの結晶成長時における基板温度測定方法

〇(M1)南條 宜行¹、今岡 達哉¹、永田 周平¹、亀井 航¹、下村 哲¹ (1.愛媛大)

キーワード：結晶成長