[17p-Z29-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[17p-Z29-4] 酸化チタンを正孔選択性パッシベーティングコンタクトに用いた結晶シリコン太陽電池の開発

〇松井 卓矢¹、Bivour Martin²、Hermle Martin²、齋 均¹ (1.産総研、2.Fraunhofer-ISE)

キーワード：太陽電池、シリコン、酸化チタン

高効率な結晶Si太陽電池を製造する技術として、Si表面のパッシベーション機能と、電子または正孔の一方を選択的に取り出す機能を併せ持つ「キャリア選択性パッシベーティングコンタクト」が注目されている。特に、これをa-Si:HなどのSi系材料を置換しうる低コストで光学的に透明な材料で実現することを目指した研究が行われている。本研究では、ALD法で製膜した酸化チタン（TiO_x）において、Siに対するキャリア選択性を制御できることを見出し、デバイス実証を目指した研究を行ってきた。従来、TiO_xはSiや様々な半導体に対して電子コンタクトとして働くことで知られてきた材料であるが、今回、TiO_xを用いてSiから正孔を選択的に取出すことに成功し、20%を超える変換効率を得た。