[17p-Z29-1~10] 16.3 シリコン系太陽電池

[17p-Z29-7] a-Si:H層を適用したヘテロ接合型結晶シリコン太陽電池

〇齋 均¹、許 宏榮²、陳 柏瑋²、陳 珮伶²、松井 卓矢¹ (1.産総研、2.台湾国立交通大)

キーワード：太陽電池、シリコン、ヘテロ接合

本研究では、a-Si:H/c-Siヘテロ接合太陽電池に対し、二段階成長させたa-Si:H層の適用を試みた。検討の結果、疎な界面層（~2nm）の上に高密度な層（~8nm）を積層させる二段階成長法により、良好な界面終端が実現できることが確認された。また、界面層の微細構造因子R*を適切な範囲に制御できれば、どのようなPECVD条件を用いても同等の発電特性が得られることが確認された。