[17p-Z35-1~12] 13.9 Compound solar cells

[17p-Z35-9] Deposition of Cu-Sn precursors on Mo-coated substrates and preparation of Cu2SnS3
thin films by fine channel mist CVD method

〇Takuya Tomono¹, Yoshihisa Humitaka¹, Okamura Kazuya¹, Tanaka Kunihiko¹ (1.Nagaoka Univ. Tech.)

Keywords:Cu2SnS3, Thin Film Solar Cells, Mist CVD

これまで本研究室ではファインチャネルミストCVD 法を用いて，Mo コート基板上にCTS 薄膜の堆積を行ってきた。しかし，Mo コート基板上にCu-Sn（CT）プリカーサを堆積させるとMoごとCT プリカーサが剥離する現象が確認されていた。その原因として，Mo と プリカーサとの熱膨張係数の違いが考えられる。そこで本研究では，Mo 表面の熱膨張係数をプリカーサに近づけることによってMo コート基板にミストCVD 法でCT プリカーサを堆積することを試みた。