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[18a-Z01-6] HORIBAの計測技術による半導体産業への貢献
キーワード:計測、半導体
半導体産業ではプロセス管理の為に様々な計測技術が必要とされている。HORIBAでは半導体での計測要求に応えるため高精度な流量制御、薬液濃度制御、およびレーザ散乱を用いたレチクル上異物計測で半導体プロセス全般に貢献を行っている。本講演ではHORIBAの半導体関連製品を説明することで半導体製品、業界に対するイメージをつけ、自身の海外赴任経験を交えながら半導体業界の具体的な仕事に関しての説明を行う。