[18a-Z02-1~6] ニューノーマル時代のDXを進めるIoT用創エネルギー材料・デバイス研究の新展開

[18a-Z02-5] ＭＥＭＳ振動発電素子用シリコン酸化膜エレクトレット

〇年吉 洋¹、橋口 原² (1.東大、2.静大)

キーワード：MEMS、振動発電、エナジーハーベスタ

シリコン酸化膜エレクトレットとシリコン系ＭＥＭＳプロセスとの整合性は高く、プロセス最終段で形成した熱酸化膜にカリウムイオンを取り込み、それを500℃程度で再加熱しながら100〜500Vの直流電圧を電極間に印加することで半永久的に帯電可能である。これを単結晶シリコン製櫛歯型電極に応用して、共振振動から静電誘導電流を取り出すＭＥＭＳ振動発電素子を試作した。