[18a-Z04-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18a-Z04-4] ピコ秒レーザー照射を用いたSiC上DLCにおけるレーザー誘起ナノ周期構造の形成

〇山本 健¹、高橋 孝²、内海 慶春³、柴田 明宣⁴、山口 誠⁵、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成、2.東大物性研、3.日本アイ・ティ・エフ(株)、4.日新電機(株)、5.秋田大理工)

キーワード：レーザー誘起ナノ周期構造