[18a-Z04-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18a-Z04-6] 任意波形ナノ秒パルスレーザーによる表面加工の時間波形依存性評価

〇遠藤 翼¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：任意波形レーザー、表面加工

短パルスレーザー加工におけるエネルギーの時空間ダイナミクスを明らかにするため，任意波形ナノ秒パルスレーザーを用いて，異なる時間波形のパルスをシングルショットで照射して試料の表面加工を行う実験系を構築した。