[18a-Z04-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18a-Z04-9] レーザー誘起気泡を用いたPDMS微細加工技術(microFLIB)のメカニズム解明

〇(M2)宮原 勇兵¹、髙橋 涼平¹、花田 修賢¹ (1.弘前大理工)

キーワード：ポンププローブ法、レーザー誘起気泡、熱硬化性樹脂

我々の研究室では，レーザー誘起気泡を用いたPDMSの表面および内部微細加工技術を開発した．本手法は，①ナノ秒レーザーを，液状PDMSと金属ターゲットの界面または液状PDMS内部に集光照射し，レーザー走査することで，ライン状のレーザー誘起気泡を生成する．②その後，熱硬化処理により，PDMS基板に気泡形状を反映した加工溝作製を実現する．今回は，ポンププローブ法を用いた本手法の加工メカニズムについて検討を行ったので報告する．