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△ [18a-Z11-13] 溌液結晶化法で作製したCdTe単結晶の放射線特性
キーワード:テルル化カドミウム、放射線検出器
CdTe半導体は、高い放射線吸収能力を持ち、室温動作可能であることから放射線検出器の材料として注目されている。しかし、THMなどの従来の方法では高品質の結晶を育成することは難しい。そこで、溌液化(LPVB)法という独自の方法でCdTe単結晶の作製を行っている。これまで、溌液状態を作り出すためにSiCl4を用いていたが、Clの影響により特性の制御が困難であった。本講演では、新たに雰囲気をArやH2に変更し、プロセスを改良した高抵抗率のCdTe単結晶を作製し、その特性を評価したので報告する。