[18a-Z13-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[18a-Z13-3] ダイヤモンドへのホウ素・窒素補償ドーピング

〇三宅 拓¹、中川 央也¹、三村 秀典¹、増澤 智昭¹ (1.静岡大)

キーワード：ダイヤモンド、補償、ドーピング

本研究では、ダイヤモンドを用いた中性子検出器の実現に向けて、ホウ素・窒素を添加することにより補償ダイヤモンドの合成を行った。中性子断面積の大きいホウ素だけを添加したダイヤモンドは低抵抗率であるので、暗電流が大きく検出器に応用するのは難しい。そこで我々は補償効果が期待される窒素を同時に添加することにより抵抗率の増加を図った。