[18a-Z16-1~8] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[18a-Z16-1] 透過原図物体を用いた対向放物面ミラー立体投影露光の検討

〇堀内 敏行¹、小林 宏史¹ (1.東京電機大工)

キーワード：リソグラフィ、放物面ミラー、投影露光

回転放物面鏡を上下に対向させ、反射原図物体を下ミラー開口内に置いて斜め下方から照明し、上ミラーの開口部に原図物体の反射像を形成して露光するリソグラフィを検討して来た。しかし、水平上面や凹部は斜め下方からの照明が困難であり、像コントラストが低下した。そこで、新たに原図物体を透過体とする構成を検討した。フィルムレチクルを用いて、立体結像が可能なこと、フィールド外縁が少し糸巻き状に歪むことを確認した。