[18a-Z16-1~8] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

[18a-Z16-4] Controlled Arrangement of Metal Nanoparticles Capped with Dithiol
on Au nanopatterns

〇Hiroki Yamamoto¹, Takahiro Kozawa², Bunsho Ohtani³ (1.QST, 2.ISIR, Osaka Univ., 3.ICAT Hokkaido Univ.)

Keywords:Electron Beam, Lithography, Metal nanoparticle

次世代リソグラフィ用レジスト材料に求められる要求が非常に厳しくなってきており、トップダウン型微細加工技術の代表であるリソグラフィの限界が唱え始められている。それゆえ、トップダウンとボトムアップを融合した革新的な微細化加工技術が求められている。本研究では、トップダウンリソグラフィ技術の電子線リソグラフィと金-チオールとの反応を巧みに利用して金属ナノ粒子の位置制御を試みた。