[18a-Z22-1~11] 12.7 Biomedical Engineering and Biochips

△ [18a-Z22-7] Nano-Pt Coating on Au Electrode Surface for High Sensitivity Extracellular Recording

〇Kyosuke Naganuma¹, Yasumi Ohta¹, Hironari Takehara¹, Makito Haruta¹, Hiroyuki Tashiro^1,2, Kiyotaka Sasagawa¹, Jun Ohta¹ (1.NAIST, 2.Kyushu Univ.)

Keywords:Implantable device, Extracellular recording electrodes, Nanostructure

我々は，小型化した電極による電気生理学的計測とCMOSイメージセンサによる蛍光イメージング機能を集積化した多機能デバイスの開発を進めている。集積化多機能デバイスでは電極の小型化が求められる．電極小型化によるSNR劣化を抑制するためには低インピーダンスの電極材料が必要となる。本研究では、小型電極の高感度化を目的として、ナノ構造のPtを電極表面にコーティングすることで、電極インピーダンスの低減を図った。