[18a-Z24-1~9] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎

[18a-Z24-8] GaAsSb/GaAs(001)におけるSb偏析が格子緩和初期に及ぼす影響の評価

〇(M1)前田 健佑¹、久保 幸士朗¹、河野 将大¹、佐々木 拓生²、高橋 正光²、鈴木 秀俊¹ (1.宮崎大工、2.量研)

キーワード：GaAsSb、その場観察、格子緩和